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三甲基氯硅烷（分子式：(CH3)3SiCl），也称氯化三甲基硅烷、氯代三甲基硅烷、三甲基一氯硅烷，室温下为无色液体，是卤代硅烷的一种，在有机合成中有很多用途。它在无水情况下稳定，但遇水即分解，生成六甲基二硅氧烷和***。由氯甲烷与硅粉在氯化亚铜存在下反应并精馏提纯获得，也可由亲核性甲基试剂如甲基锂与四氯化硅发生亲核取代反应制得。
中文名称：三甲基氯硅烷
化学式：C3H9ClSi
CAS登录号：75-77-4
熔 点：-40℃
外 观：无色溶液
闪 点：-18℃
分子量：108.64
英文名：trimethyl chlorosilane
密 度：0.857g/cm3
沸 点：57.3℃
无色透明液体。有挥发性，在潮湿空气中易水解而成游离***。溶于苯、**和过氯乙烯。